從大氣到極高真空有一個很大的范圍，至今為止還沒有一種真空系統能覆蓋這個范圍。因此，為達到不同產品的工藝指標、工作效率和設備工作壽命要求、不同的真空區段需要選擇不同的真空系統配置。真空泵的作用就是從真空室中抽除氣體分子，降低真空室內的氣體壓力，使之達到要求的真空度。為達到最佳配置，選擇真空系統時，應考慮下述各點： 1、確定工作真空范圍。 首先必須檢查確定每一種工藝要求的真空度。因為每一種工藝都有其適應的真空度范圍，必須認真研究確定之。 2、確定極限真空度。 在確定了工藝要求的真空度的基礎上檢查真空泵系統的極限真空度，因為系統的極限真空度決定了系統的最佳工作真空度。一般來講，系統的極限真空度比系統的工作真空度低20%，比前級泵的極限真空度低50%。 3、被抽氣體種類與抽氣量。 檢查確定工藝要求的抽氣種類與抽氣量。因為如果被抽氣體種類與泵內液體發生反應，泵系統將被污染。同時必須考慮確定合適的排氣時間與抽氣過程中產生的氣體量。 4、真空容積。 檢查確定達到要求的真空度所需要的時間、真空管道的流阻與泄漏?？紤]達到要求真空度后在一定工藝要求條件下維持真空需要的抽氣速率。 真空泵抽氣速率計算公式: S=2.303V/tLog(P1/P2) 其中：S為真空泵抽氣速率(L/s) V為真空室容積(L) t為達到要求真空度所需時間(s) P1為初始真空度(Pa) P2為要求真空度(Pa) 例如：V=1000L t=60s P1=101325Pa P2=50Torr 則：S=2.303V/t Log(P1/P2)=2.303x500/30xLog(760/50)=35.4L/s 當然上式只是理論計算結果，還有若干變量因素未考慮進去，如管道流阻、泄漏、過濾器的流阻、被抽氣體溫度等。